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TEM載網常識

發布日期:2022年09月26日    瀏覽次數:2191

1. 載網的用途
 ?將樣品直接支撐在載網表面 ? 主要應用于超薄切片樣品和薄膜樣品。
 ?將各種樣品支持膜貼在載網表面,將樣品支撐在上面(普通支持膜) ? 主要適用于粉末、微粒、超薄切片和薄膜樣品。
 ?在載網表面貼附微柵膜,將樣品支撐在上面(微柵支持膜) ? 主要適用于微粒、針狀樣品、板狀樣品、超薄切片和薄膜樣品。
 ?在載網表面貼上微柵膜,然后在上面貼一層較薄的支撐膜,將樣品支撐在上面(超薄碳膜) ? 主要適用于微粒和微晶樣品。

2. 載網尺寸
 ?通用標準=1/8英寸=3.18mm
 ?3.0mmΦ載網?市面上最常用的載網尺寸。
 ?2.3mmΦ ? 部分高分辨率小孔徑極片才會用到。

3. 載網厚度
 ·載網的厚度并非全部相同,根據材料和孔的大小,在5~50μm左右的范圍內形成適當的厚度。

4. 孔形狀
 ?有正方形、六角形、圓形、橢圓形、長方形等各種形狀的。

5. 可觀察范圍
 ?在標準樣品架中放置 3mmΦ 載網時,TEM 可觀察區域通常在載網中心約 2mmΦ。

6.載網材料
 ?Cu、Mo、Ti、Ni、Al、Au、SUS、尼龍等各種材料的載網。

7. 典型的金屬載網制造方法


 載網厚度
(μm)
材料孔形開口率表面
平整度

支持膜的附著難易度

易于處理

單面蝕刻法

5 到 40銅、鎳、鈦、鉬圓孔

加工精度
孔邊無凹凸,表面平整度好。因為表面是平坦的,所以很容易將支持膜平滑地覆蓋在網格的整個表面上。易于處理,因為它堅硬且不易變形
雙面蝕刻法
(正反不平)
5 到 30銅、鎳、鈦、鉬方孔
六角孔

加工精度
略好
孔的邊緣有輕微的凹凸,表面的平整度有些差。由于表面的輕微凹凸和載網厚度,在整個表面上平滑地覆蓋支持膜有些困難。難以處理,因為它柔軟且容易變形
雙面蝕刻法
(兩面均勻)
5 到 30銅、鎳、鈦、鉬方孔
六角孔

加工精度
孔邊臺階大,表面平整度差表面(孔的邊緣)有輕微的凹凸,很難在整個表面上平滑地覆蓋支持膜難以處理,因為它柔軟且容易變形
電鑄法
(電鍍法)
3 到 15銅、金、鋁、鎳、鉑方孔
六角孔

加工精度
非常好
孔邊輕微下垂,表面平整度差由于表面的輕微凹凸和載網厚度,難以將支持膜平滑地覆蓋在整個表面上。難以處理,因為它柔軟且容易變形


 網格材料厚度
(注1)
孔徑
(注2)
開口率
(注3)
評論
用于高分辨率觀察銅、鉬厚,中中、低選擇不易受支撐膜漂移影響的載網
一般觀察根據觀察倍率選擇易于使用的載網
用于大視野觀察超高,高選擇具有窄橫梁和大孔的高開放區域載網。
用于試樣傾斜觀察大、中超高,高選擇一個帶有垂直于傾斜軸的長矩形孔的載網
用于元素分析銅、鉬、鎳、鋁、鈦、金、鉑大的高、中選擇由要分析的元素以外的材料制成的載網
用于樣品加熱鉬,鉑選擇由高耐熱材料制成的載網
用于樣品冷卻銅、金、鋁選擇由具有良好導熱性的材料制成的載網

   (注1)厚度:厚:30μm以上,中:15-30μm,薄:3-15μm
   (注2)孔徑:大:100μmΦ或更大,中:50-100μmΦ,小:20~50μmΦ
   (注3)開口率指標:超高:80%以上,高:60%以上,中:40~60%,低:40%以下


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