1. 載網的用途
?將樣品直接支撐在載網表面 ? 主要應用于超薄切片樣品和薄膜樣品。
?將各種樣品支持膜貼在載網表面,將樣品支撐在上面(普通支持膜) ? 主要適用于粉末、微粒、超薄切片和薄膜樣品。
?在載網表面貼附微柵膜,將樣品支撐在上面(微柵支持膜) ? 主要適用于微粒、針狀樣品、板狀樣品、超薄切片和薄膜樣品。
?在載網表面貼上微柵膜,然后在上面貼一層較薄的支撐膜,將樣品支撐在上面(超薄碳膜) ? 主要適用于微粒和微晶樣品。
2. 載網尺寸
?通用標準=1/8英寸=3.18mm
?3.0mmΦ載網?市面上最常用的載網尺寸。
?2.3mmΦ ? 部分高分辨率小孔徑極片才會用到。
3. 載網厚度
·載網的厚度并非全部相同,根據材料和孔的大小,在5~50μm左右的范圍內形成適當的厚度。
4. 孔形狀
?有正方形、六角形、圓形、橢圓形、長方形等各種形狀的。
5. 可觀察范圍
?在標準樣品架中放置 3mmΦ 載網時,TEM 可觀察區域通常在載網中心約 2mmΦ。
6.載網材料
?Cu、Mo、Ti、Ni、Al、Au、SUS、尼龍等各種材料的載網。
7. 典型的金屬載網制造方法
載網厚度 (μm) | 材料 | 孔形 | 開口率 | 表面 平整度 | 支持膜的附著難易度 | 易于處理 | |
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單面蝕刻法 | 5 到 40 | 銅、鎳、鈦、鉬 | 圓孔 加工精度 差 | 低 | 孔邊無凹凸,表面平整度好。 | 因為表面是平坦的,所以很容易將支持膜平滑地覆蓋在網格的整個表面上。 | 易于處理,因為它堅硬且不易變形 |
雙面蝕刻法 (正反不平) | 5 到 30 | 銅、鎳、鈦、鉬 | 方孔 六角孔 加工精度 略好 | 中 | 孔的邊緣有輕微的凹凸,表面的平整度有些差。 | 由于表面的輕微凹凸和載網厚度,在整個表面上平滑地覆蓋支持膜有些困難。 | 難以處理,因為它柔軟且容易變形 |
雙面蝕刻法 (兩面均勻) | 5 到 30 | 銅、鎳、鈦、鉬 | 方孔 六角孔 加工精度 好 | 中 | 孔邊臺階大,表面平整度差 | 表面(孔的邊緣)有輕微的凹凸,很難在整個表面上平滑地覆蓋支持膜。 | 難以處理,因為它柔軟且容易變形 |
電鑄法 (電鍍法) | 3 到 15 | 銅、金、鋁、鎳、鉑 | 方孔 六角孔 加工精度 非常好 | 高 | 孔邊輕微下垂,表面平整度差 | 由于表面的輕微凹凸和載網厚度,難以將支持膜平滑地覆蓋在整個表面上。 | 難以處理,因為它柔軟且容易變形 |
網格材料 | 厚度 (注1) | 孔徑 (注2) | 開口率 (注3) | 評論 | |
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用于高分辨率觀察 | 銅、鉬 | 厚,中 | 小 | 中、低 | 選擇不易受支撐膜漂移影響的載網。 |
一般觀察 | 銅 | 中 | 中 | 中 | 根據觀察倍率選擇易于使用的載網。 |
用于大視野觀察 | 銅 | 中 | 大 | 超高,高 | 選擇具有窄橫梁和大孔的高開放區域載網。 |
用于試樣傾斜觀察 | 銅 | 薄 | 大、中 | 超高,高 | 選擇一個帶有垂直于傾斜軸的長矩形孔的載網。 |
用于元素分析 | 銅、鉬、鎳、鋁、鈦、金、鉑 | 薄 | 大的 | 高、中 | 選擇由要分析的元素以外的材料制成的載網。 |
用于樣品加熱 | 鉬,鉑 | 中 | 中 | 中 | 選擇由高耐熱材料制成的載網。 |
用于樣品冷卻 | 銅、金、鋁 | 中 | 中 | 中 | 選擇由具有良好導熱性的材料制成的載網。 |
(注1)厚度:厚:30μm以上,中:15-30μm,薄:3-15μm
(注2)孔徑:大:100μmΦ或更大,中:50-100μmΦ,小:20~50μmΦ
(注3)開口率指標:超高:80%以上,高:60%以上,中:40~60%,低:40%以下